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高分辨率等离子体测量

200-960nm的四通道光谱仪分辨率可以达到0.22-0.28nm,比覆盖相同光谱范围的单通道光谱仪AvaSpec-ULS2048CL-EVO高四倍。在AvaSoft光谱分析软件中,四个通道的光谱被拟合到一个光谱,犹如使用单通道光谱仪一样。


典型应用领域

半导体
太阳能电池
剃须刀片
聚变反应堆
玻璃涂层

订购信息

Ava-Plasma-A

光谱仪

4 通道AvaSpec-ULS2048CL-EVO光谱仪

光栅:

UC(200-450nm),0.28nm分辨率

VC(450-680nm),0.26nm分辨率

NC(660-830nm),0.24nm分辨率

NC(820-960nm),0.22nm分辨率

所有通道都采用10μm狭缝,DCL-UV/VIS-200,OSF-600(如需要)

光纤

FC4-UVIR400-2 一分四光纤


软件

AvaSoft-Full 光谱分析软件

SpecLine-A分析软件